半导体测试过程中需要设备有分选机、探针台、测试机以及光学显微镜、缺陷观测设备等,对应不同测试环节。分选机主要应用于芯片设计检验阶段和成品终测环节,是重要检测设备之一。
晶圆分选机是半导体晶圆厂中用于晶圆搬运的设备,负责晶圆的中转和分选,确保生产流程的连续性和高效性,保障晶圆厂物料流转需求。在具体使用中,它可以实现晶圆的上下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控以及产品出厂校验、排序、料盒交换等功能。通过Load port、机械臂与预对准器相配合实现对不同型号的晶圆进行分选作业,在保证高洁净度的情况下提升半导体制造工序的自动化程度。
分选机主要用于集成电路设计和封装测试领域,基本都与测试机搭配使用,其中前端设计领域中分选机是针对封装的芯片级检测,后端是在芯片封装完成后,通过测试机和分选机的配合使用,对电路成品进行功能及稳定性测试,挑选出合格成品,并根据器件性能进行分选、记录和统计,保证出厂的电路成品的功能和性能指标符合设计规范,实现对电路生产的控制管理。测试功能由测试机实现,而探针台和分选机实现的则是机械功能,将被测晶圆/芯片拣选至测试机进行检测。
封装测试又称为FT测试或终测,一般在封测厂完成,是指芯片完成封装后,通过分选机和测试机配合,对每一颗芯片进行电参数性能测试,保证出厂的每颗集成电路的功能和性能指标能够达到设计规范要求,目的在于提高出厂芯片良率。封装测试主要用到测试机和分选机,此外还有定制化的测试电路板和底座。
主站:PLC(Ethercat协议)
项目配置:一体式IO模块MD-1616E 6个
项目概述:在分选机中客户使用了承寰一体式IO模块6个。客户对速度,精度要求比较高,DC同步需要在100US,在经过一年多的使用,满足要求,稳定性也不错。客户给与高度赞扬。